CMP车间 隐形杀手 无处藏 :三卫科技NH₃IPA智能检测仪全案
化学机械抛光(CMP)是晶圆进入铜互连前的最后一道“镜面级”平整工序,抛光液中的NH₄OH与清洗段IPA在高温摩擦作用下极易逸散为NH₃和IPA蒸汽。二者虽无色,却会在短时间内造成:
化学机械抛光(CMP)是晶圆进入铜互连前的最后一道“镜面级”平整工序,抛光液中的NH₄OH与清洗段IPA在高温摩擦作用下极易逸散为NH₃和IPA蒸汽。二者虽无色,却会在短时间内造成:
草木灰里的碱性东西会溶进土里的水,中和掉一些酸(H⁺),这样土壤的酸度(pH)就升高了。
说明:同步辐射作为先进光源技术,凭借其高亮度、宽频谱及元素选择性等独特优势,能精准解析材料中特定原子的配位环境(如键长、氧化态及电子转移),尤其适用于原位动态监测催化反应过程中的结构演变。该技术与电镜、光谱等手段协同,为揭示材料构效关系提供了不可替代的原子尺度
本文系统阐述了如何通过密度泛函理论(DFT)来解释催化反应中的产物选择性问题。首先,介绍了DFT的基本原理及其在催化领域的应用,如吸附能计算、反应能垒评估和电子结构分析。
脱硝催化剂(如SCR催化剂)的活性受多种因素影响,其性能下降会导致脱硝效率降低。为延长催化剂寿命并避免损失,需系统分析影响因素并实施针对性检测措施。
在工业生产中,准确监测溶液浓度对于保障产品质量和生产流程稳定至关重要。DERACE(达锐斯)NH₃在线浓度传感器凭借其先进的技术和卓越性能,成为众多企业的得力助手。